中微公司CCP電容式刻蝕機(jī)已達(dá)到國際最先進(jìn)技術(shù)水平7nm/5nm,在存儲(chǔ)器中64層3D NAND已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),128層3D NAND穩(wěn)步推進(jìn)引領(lǐng)國內(nèi)大規(guī)模進(jìn)口替代,ICP電感式突破至1Xnm,未來有望導(dǎo)入產(chǎn)線加大應(yīng)用;同時(shí),公司開啟平臺(tái)化發(fā)展,參股沈陽拓荊(國內(nèi)PECVD、ALD龍頭)、Solayer(鍍膜設(shè)備)并擬參股上海睿勵(lì)(國內(nèi)厚膜量測設(shè)備領(lǐng)先者),擴(kuò)大業(yè)務(wù)領(lǐng)域,滿足國內(nèi)對(duì)薄膜設(shè)備、量測設(shè)備的等巨大需求,順勢做大做強(qiáng)。
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